西电广州第三代半导体创新中心正式通线

9月22日，2023大湾区（广州）第三代半导体产业发展推进大会在中新广州知识城召开。

本次大会以“创芯新时代·湾区新引擎”为主题，以大湾区半导体高峰对话为核心，以第三代半导体产业高质量发展为主线，围绕产学研融合、大湾区半导体产业协同发展、第三代半导体领域最新技术成果和发展趋势等内容，诚邀中国科学院郝跃院士、毛军发院士、崔铁军院士，厦门大学党委书记张荣、广州市黄埔区区长冼银崧、广东省科技厅二级巡视员夏奇峰、鹏城实验室副主任石光明，西安电子科技大学副校长张进成、原党委副书记杨银堂等院士大咖、主管部门、科研院所、行业翘楚负责人齐聚探讨、共同献智，为助力广东加快打造我国集成电路产业发展第三极献计献策。

会上宣布，西安电子科技大学广州第三代半导体创新中心（下称“创新中心”）正式通线。创新中心由中国科学院院士、国家自然科学基金委信息学部主任郝跃领衔成立。自成立以来，创新中心始终心怀“国之大者”、聚焦“四个面向”，锚定教育强国、科技强国、人才强国的时代使命，以不忘初心的拼搏，戮力探索湾区第三代半导体产业“一二三四”发展路径。

项目建成后，将具备6-8英寸氮化镓晶圆生长、工艺制备、封测等全流程研发和技术服务能力。

接下来，创新中心将作为第三代半导体技术的公共服务平台和产业化基地，围绕国家第三代半导体产业重大战略需求，开展5G通信、新能源汽车等领域核心元器件、芯片和微系统模块的关键技术研发，致力于第三代半导体材料、器件与集成电路的工程化技术研发和产业化，为广州抢占半导体领域第三级凝神聚力，助力我国第三代半导体芯片供应链实现自主可控。

一“芯”一意：赋能高质量发展

作为中国半导体领域研究的排头兵，郝跃三十年围绕第三代半导体技术持续深耕，换来我国第三代半导体从核心设备、材料到器件的重大创新，并使我国氮化物第三代半导体电子器件步入国际领先行列。

“我们发现，区别于以往的芯片原料，氮化镓材质具有宽禁带、抗辐射、耐高温、耐高压、大功率等特性，其集成电路成果能够广泛应用于我国先进雷达、卫星通讯、LED、5G通信、快充电源等重要领域。”郝跃谈到。

郝跃所在的西安电子科技大学第三代半导体团队，从一根电缆铺设、一块电路板焊接开始，成功打通了“设备-材料-器件-电路应用”的技术体系，成为我国氮化物宽禁带半导体前沿技术研究的核心基地。

2020年底，面对复杂国际局势和科技自立自强的重大历史机遇，西安电子科技大学携手广州开发区共建了广州第三代半导体创新中心。创新中心致力于打通高校科技成果转化的“最后一公里”，架设三秦大地前沿成果落地大湾区产业化桥梁，探索复合型产业技术人才培养新模式。

“如今，随着产线的全线贯通，创新中心将推动第三代半导体前沿技术开发，并向大湾区以及国内提供合作代工、技术培训、成果转化以及产业孵化等服务。”郝跃表示。

“为湾区发展注入‘芯’动能，我们将围绕湾区半导体产业、新能源汽车、5G通信等产业聚焦聚力，通过产研一体、协同创新、资源整合等抓手，切实把西电半导体领域的强大创新势能转化为湾区产业变轨升级的不竭动能。”西安电子科技大学副校长张进成表示。

双向奔赴：夯实校企新定位

广东省作为我国信息产业的第一大省，在消费电子、通信、人工智能、汽车电子等领域拥有国内最大的半导体及集成电路应用市场。同时，广东也存在创新能力不足、设计企业规模普遍偏小、制造环节短板明显、高校人才培养短缺等问题与挑战。

“为此，广东近年来重点培育发展半导体及集成电路战略性新兴产业集群，科学精准实施‘广东强芯’工程，积极构建集成电路产业‘四梁八柱’，致力打造中国集成电路第三极做了诸多布局。”广东省科学技术厅二级巡视员夏奇峰表示。

在此背景下，创新中心牢牢把握“高校是原始创新策源地，企业是科技创新主体”的题中之意，与企业开展全方位、多层次、全链条的务实合作。目前，创新中心已与4家湾区企业共建创新平台（其中包括2个千万级合作平台、1个国际合作平台），不断扩大校企资源互补、人才互动、成果互享的发展“朋友圈”。

例如，曾有一家主要从事晶圆级MEMS器件封装工艺及相关核心技术的开发、代工服务的电子科技公司，携手创新中心打造了联合实验室。

“企业将氮化镓外延生产设备的材料，拿到我们中试平台做验证。我们可以为他们提供指引，告诉他们不同芯片对于生产设备的需求，并提供材料的相关参数，告诉他们在哪些环节可以优化改进。”西安电子科技大学广州研究院教授、广州第三代办半导体创新中心执行主任刘志宏介绍。

所谓“中试”验证，即指企业在将一项技术商业化推广前的产品化、产业化阶段。在此过程中，需要经过小批量产品验证。由于中试平台需要较高投入，却不一定有较高利润空间，因此需要发展相关产业往往需要公共中试平台。

“创新中心的顺利通线，填补了大湾区在第三代半导体领域中试平台的空白，将加速氮化镓晶圆研制的产业化。”张进成副校长说。

“三位一体”：筑牢强国主阵地

作为国家首批示范性微电子学院建设单位、首批集成电路人才培养基地，西安电子科技大学拥有宽禁带半导体器件与集成技术全国重点实验室、宽禁带半导体国家工程研究中心、国家集成电路产教融合创新平台等重要科研载体。

西安电子科技大学半导体研究肇始于1956年。半个多世纪以来，西电培养了一万余名半导体行业英才，为我国半导体事业的发展立下卓越功勋。近年来，学校半导体方向获国家科技进步奖、国家技术发明奖共7项，居全国之首。

“依托西安电子科技大学科研团队和教育理念，创新中心坚持教育优先发展、科技自立自强、人才引领驱动理念，致力于培育一批逐梦湾区的卓越工程师、产出一批颠覆性的科技创新成果、汇聚一批敢为人先的‘大国工匠’。”郝跃表示。

三年来，工程研究中心组建了包括院士、长江等在内的40余人的高水平研发团队，申请千万级项目3项、专利44项，发表高水平期刊论文和学术会议报告53篇，培养的硕博士各类竞赛获奖189人次，其中国际级1项，国家级22项。

“四链”融通：促进要素全集聚

落地建设以来，创新中心积极探索产业链、创新链、资金链、人才链有序融通的发展范式，通过产教融合、产研结合、校地聚合的机制重塑，优化了湾区半导体产业资源要素、创新要素、人才要素、市场要素配置。目前，创新中心已与130余家企业院所共建了半导体及集成电路产业集聚区。

“经常会有投资机构找到我们，开展技术咨询工作。大湾区拥有各类投资平台和丰富的产业资本。我们可以明显感受到市场对于科研项目的孵化热情。”西电广州研究院党委书记刘丰雷说。

当前，广东省拥有广汽、华为、大疆、格力等第三代半导体产品应用的重要客户。创新中心所在的黄埔区、广州开发区则是广州实体经济主战场、科技创新主引擎、改革开放主阵地。

利用丰富的应用场景和深厚的产业基础，创新中心正在多方要素的加持下驶入发展“快车道”。

“例如，我们与粤芯半导体签订了联合培养协议。一方面，我们的学生在研究生阶段，可以去往粤芯的产线做技术开发；另一方面，粤芯会定期派人到西安电子科技大学广州研究院授课。”研究院执行院长王从思提到，创新中心给学生提供了在课堂上实操的机会。相比以往的传统授课，从创新中心走出的学生可以为企业节省半年左右的培训时间。

只有同“芯”，方能同行。此次活动中，国家工程研究中心广州分中心与全国重点实验室广州基地还举行了揭牌仪式。以本次大会为契机，国家战略科技力量与本地产业链相实现了进一步深化的结合融通。

在筚路蓝缕的艰难年代，西电赓续红色基因，一路披荆斩棘，实现国防信息领域多个“0”的突破；在干事创业的新时代，创新中心将共享“芯”机遇，共话“芯”合作，共创“芯”时代，为助力广东打造中国集成电路产业第三极，服务国家高水平科技自立自强而蓄势赋能。