西电广州研究院迎90周年校庆系列报告会第一讲：光刻技术与光刻机

编者按：九十载春风秋雨，九十载夏桑秋实。为庆祝西安电子科技大学九十周年华诞，传承家国情怀浓、数理基础厚、专业造诣精、实践创新能力强的人才培养“西电现象”，西电广研院特邀本部老教授、校友代表等为“黄埔一期”生开展“春华秋实?荣耀九秩” 90周年校庆系列报告会活动，旨在引导广研学子薪火承继，弘扬传统，激发奋进之力，助力学校发展。

3月26日上午，广州研究院在教学科研楼B5-205举办了第一期“春华秋实?荣耀九秩”90周年校庆系列报告会，特邀西电原技术物理学院退休教授梁瑞林作主题报告，报告会由广州研究院执行院长沈八中教授主持，广州研究院260名研究生参加了此次报告会。

报告会伊始，沈八中代表广州研究院对梁瑞林教授的到来表示热烈欢迎，并介绍了梁瑞林教授的主要成就。

梁瑞林以“光刻机技术和光刻机”为题，首先他深入浅出的介绍了什么是光刻机技术、光刻技术现状和面对卡脖子的关键技术我国可能的破解思路三个方面进行了全面解读。在报告中，梁瑞林重点提及了国内光刻机与荷兰ASML光刻机的巨大差距，他强调我国虽然在信息科技领域取得了巨大成就，但与发达国家相比仍存在较大差距，我国高科技发展之路，道阻且长。最后，梁教授对学生的踊跃提问进行了耐心细致的回答，并勉励广研学子要赓续红色基因，传承西电精神，面对“卡脖子”问题，要以只争朝夕的紧迫感，以时不我待的精神，扎实彻底的定力、耐心和毅力，真正将关键技术转变为科研任务清单，持之以恒，久久为功，励志成为勇挑重担、攻坚克难的突击手。

会后，同学们纷纷表示此次报告会让他们清醒认识到关键核心技术是要不来、买不来、讨不来的，要想在关键技术上不受掣肘，就要树立把研究做到极致的工匠精神，真正担当起关键核心技术攻关的时代重任，躬身创新实践，勇攀科技高峰。

梁瑞林教授简介：

梁瑞林，西安电子科技大学材料学科退休教授。曾任技术物理系副主任(技术物理学院副院长)。中国电子学会高级会员，国家教委高等院校教材统编委员会委员，日本陶瓷学会海外会员。多次承担并完成国家自然科学基金项目、中国工程物理研究院项目、电子科学研究院项目、陕西省项目、企业委托项目，并获奖。其中，国家自然科学基金委员会与中国工程物理研究院联合基金项目的奖项，为国家自然科学基金委员会银质奖。兼任地方政府技术顾问、企业技术顾问30多年。科学出版社出版专著、译著9部，国防工业出版社出版合著一部。国内外发表论文30余篇。